鄭州正春凈化設(shè)備有限公司
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河南凈化工程公司認(rèn)為控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手,設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下,由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí),則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈車間或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈車間內(nèi)的高噪聲設(shè)備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)有些潔凈車間將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈車間外套間,或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi),潔凈車間噪聲有明顯的降低。
潔凈車間的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈車間氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。
排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對潔凈車間影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例,在生產(chǎn)過程中,外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來,對于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。
潔凈車間的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由于潔凈車間內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜,按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速,既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力,降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速,減弱了風(fēng)機(jī)噪聲,又防止了風(fēng)速過大而產(chǎn)生的附加噪聲。
噪聲控制
潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)),非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A),單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65 dB(A)。
潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮控制要求。潔凈室的維護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能,并使各部分隔聲量相接近。
潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設(shè)備,應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí),應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。
凈化空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求,風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用總風(fēng)管: 6-10m/s;無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s。
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